高性能壓力傳感器攻克“卡脖子”技術(shù)儀表產(chǎn)業(yè)
2021-7-14 來源：儀表網(wǎng) 作者：
當(dāng)前，我國科技事業(yè)實(shí)現(xiàn)了歷史性、整體性、格局性重大變化，重大創(chuàng)新成果競(jìng)相涌現(xiàn)，一些前沿方向開始進(jìn)入并行、領(lǐng)跑階段。但也應(yīng)看到，我國科技領(lǐng)域仍然存在一些亟待解決的問題，關(guān)鍵核心技術(shù)受制于人的局面沒有得到根本性改變，亟待集中力量奮力攻關(guān)。
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中較為常用的一種傳感器，一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號(hào)，模擬信號(hào)是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號(hào)。玩夠哦要加速形成從傳感器研究開發(fā)到大生產(chǎn)一條龍的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展模式，走自主創(chuàng)新和國際合作相結(jié)合的跨越式發(fā)展道路，使我國成為世界傳感器的生產(chǎn)大國。攻克“卡脖子”技術(shù)較為重要。
近日，中南大學(xué)和中國電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所聯(lián)合承擔(dān)的長沙市重大專項(xiàng)航空發(fā)動(dòng)機(jī)用高性能壓力傳感器的開發(fā)及應(yīng)用項(xiàng)目通過驗(yàn)收，此舉意味著該項(xiàng)“卡脖子”關(guān)鍵技術(shù)得以攻克。
該項(xiàng)目于2018年立項(xiàng)，依托中電四十八所和中南大學(xué)，著力開展高性能壓力傳感器的研究與開發(fā)，打破國外公司封鎖。經(jīng)過三年的科技攻關(guān)，項(xiàng)目組攻克了敏感電阻精準(zhǔn)摻雜、SOI壓敏芯片制造、無引線壓力傳感器封裝等關(guān)鍵工藝和技術(shù)。
其研制出的高性能SOI壓力傳感器器件，在某型號(hào)航空發(fā)動(dòng)機(jī)上進(jìn)行了應(yīng)用驗(yàn)證，性能達(dá)到國際先進(jìn)水平，打破了國外高端壓力傳感器的封鎖，解決了耐高溫壓力傳感器的“卡脖子”技術(shù)問題，為更高溫度壓力傳感器的研制奠定重要的理論和技術(shù)基礎(chǔ)。
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